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MOCVD材料生長重大裝備項目

MOCVD材料生長重大裝備項目

交易信息:
完全轉(zhuǎn)讓-0.00 元
技術(shù)領(lǐng)域:
應(yīng)用領(lǐng)域:
最后更新時間:2022-07-29 13:46
所在地:
吉林省 長春市 南關(guān)區(qū)
所有者:
管理員
聯(lián)系方式:
13756056562
在國家“863”計劃等項目的支持下,系統(tǒng)地開展了MOCVD生長室、原料輸運(yùn)、電路控制等方面的設(shè)計與技術(shù)研究工作,成功研制出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的可一次生長3片2英寸外延片的研發(fā)型MOCVD設(shè)備樣機(jī),實現(xiàn)了襯底機(jī)座的公轉(zhuǎn)/自傳獨(dú)立調(diào)節(jié)、具有低成本的新型原料配送結(jié)構(gòu)等功能,并生產(chǎn)出性能優(yōu)良的氮化鎵基材料。
阿薩德1111245